इलेक्ट्रॉनिक उद्योग में सूक्ष्म उपकरणों में इन्फ्रारेड माइक्रोस्कोप का अनुप्रयोग
अनुप्रयोग दिशा: सूक्ष्म अर्धचालक उपकरणों के तापमान माप में अवरक्त माइक्रोस्कोप का कार्य।
दूसरा, पृष्ठभूमि:
नैनोटेक्नोलॉजी के विकास के साथ, इसके ऊपर से नीचे के लघुकरण को सेमीकंडक्टर प्रौद्योगिकी के क्षेत्र में अधिक से अधिक लागू किया गया है। हम IC तकनीक को "माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स" तकनीक कहते थे, क्योंकि ट्रांजिस्टर का आकार माइक्रोन (10-6 मीटर) स्तर में होता है। हालाँकि, सेमीकंडक्टर तकनीक बहुत तेजी से विकसित हो रही है, और यह हर दो साल में एक पीढ़ी तक प्रगति करेगी, और इसका आकार अपने मूल आकार से आधा हो जाएगा। यह प्रसिद्ध मूर का नियम है। लगभग 15 साल पहले, अर्धचालकों ने सब-माइक्रोन, यानी माइक्रोन से भी कम के युग में प्रवेश करना शुरू किया और फिर गहरे सब-माइक्रोन और माइक्रोन से बहुत छोटे का युग आया। 2001 तक ट्रांजिस्टर का आकार 0.1 माइक्रोन से भी कम यानि 100 नैनोमीटर से भी कम था। इसलिए, यह नैनो-इलेक्ट्रॉनिक्स का युग है, और भविष्य की अधिकांश IC नैनो-प्रौद्योगिकी से बनी होगी।
तीसरा, तकनीकी आवश्यकताएँ:
वर्तमान में, इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों की मुख्य विफलता का रूप थर्मल विफलता है। आँकड़ों के अनुसार, 55% इलेक्ट्रॉनिक उपकरण विफलताएँ निर्दिष्ट मान से अधिक तापमान के कारण होती हैं। तापमान में वृद्धि के साथ, इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों की विफलता दर तेजी से बढ़ जाती है। सामान्यतया, इलेक्ट्रॉनिक घटकों की कामकाजी विश्वसनीयता तापमान के प्रति बेहद संवेदनशील होती है, और 70-80 डिग्री के स्तर पर डिवाइस के तापमान में प्रत्येक 1 डिग्री की वृद्धि के लिए विश्वसनीयता 5% कम हो जाएगी। इसलिए, डिवाइस के तापमान का शीघ्र और विश्वसनीय रूप से पता लगाना आवश्यक है। जैसे-जैसे सेमीकंडक्टर उपकरणों का आकार छोटा होता जा रहा है, तापमान रिज़ॉल्यूशन और पता लगाने वाले उपकरणों के स्थानिक रिज़ॉल्यूशन के लिए उच्च आवश्यकताओं को सामने रखा जाता है।
चौथा, हीट मैप को मौके पर ही शूट करें (स्थान: एक प्रसिद्ध वैज्ञानिक अनुसंधान संस्थान मॉडल: INNOMETE SI330)
