स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी के लाभ
1. आवर्धन
चूंकि स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप की फ्लोरोसेंट स्क्रीन का आकार निश्चित है, इसलिए नमूने की सतह पर इलेक्ट्रॉन बीम के स्कैनिंग आयाम को बदलकर आवर्धन में परिवर्तन का एहसास होता है।
यदि स्कैनिंग कॉइल की धारा कम हो जाती है, तो नमूने पर इलेक्ट्रॉन बीम की स्कैनिंग सीमा कम हो जाएगी और आवर्धन बढ़ जाएगा। समायोजन बहुत सुविधाजनक है, और इसे लगातार 20 बार से लेकर लगभग 200,{2}} बार तक समायोजित किया जा सकता है।
2. संकल्प
रिज़ॉल्यूशन SEM का मुख्य प्रदर्शन सूचकांक है।
रिज़ॉल्यूशन आपतित इलेक्ट्रॉन बीम के व्यास और मॉड्यूलेशन सिग्नल के प्रकार से निर्धारित होता है:
इलेक्ट्रॉन बीम व्यास जितना छोटा होगा, रिज़ॉल्यूशन उतना अधिक होगा।
इमेजिंग के लिए उपयोग किए जाने वाले विभिन्न भौतिक संकेतों के अलग-अलग रिज़ॉल्यूशन होते हैं।
उदाहरण के लिए, एसई और बीई इलेक्ट्रॉनों के नमूने की सतह पर अलग-अलग उत्सर्जन सीमाएँ होती हैं, और उनके रिज़ॉल्यूशन अलग-अलग होते हैं। आम तौर पर, एसई का रिज़ॉल्यूशन लगभग 5-10 एनएम है, और बीई का रिज़ॉल्यूशन लगभग 50-200 एनएम है।
3. क्षेत्र की गहराई
यह क्षमताओं की एक श्रृंखला को संदर्भित करता है जो एक लेंस एक साथ नमूने के विभिन्न हिस्सों पर असमानता के साथ ध्यान केंद्रित कर सकता है और छवि बना सकता है।
स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप का अंतिम लेंस एक छोटे एपर्चर कोण और एक लंबी फोकल लंबाई को अपनाता है, इसलिए क्षेत्र की एक बड़ी गहराई प्राप्त की जा सकती है, जो सामान्य ऑप्टिकल माइक्रोस्कोप से 100-500 गुना बड़ा और 10 गुना बड़ा है। एक ट्रांसमिशन इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप का।
क्षेत्र की बड़ी गहराई, मजबूत त्रि-आयामी समझ और यथार्थवादी आकार एसईएम की उत्कृष्ट विशेषताएं हैं।
SEM के नमूनों को दो श्रेणियों में बांटा गया है:
1 अच्छी चालकता वाला एक नमूना है, जो आम तौर पर अपने मूल आकार को बनाए रख सकता है और इसे बिना या थोड़ी सफाई के इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप में देखा जा सकता है;
2. गैर-प्रवाहकीय नमूने, या ऐसे नमूने जो पानी खो देते हैं, गैस छोड़ते हैं, सिकुड़ जाते हैं और निर्वात में विकृत हो जाते हैं, उन्हें देखने से पहले ठीक से इलाज करने की आवश्यकता होती है।
