स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप के लाभ
1. आवर्धन कारक
स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप के फ्लोरोसेंट स्क्रीन के निश्चित आकार के कारण, नमूने की सतह पर इलेक्ट्रॉन बीम के स्कैनिंग आयाम को बदलकर आवर्धन में परिवर्तन प्राप्त किया जाता है।
यदि स्कैनिंग कॉइल की धारा कम हो जाती है, तो नमूने पर इलेक्ट्रॉन बीम का स्कैनिंग आयाम कम हो जाएगा, और प्रवर्धन कारक बढ़ जाएगा। समायोजन बहुत सुविधाजनक है, और इसे लगातार 20x से लेकर लगभग 200000 बार तक समायोजित किया जा सकता है।
2. संकल्प
रिज़ॉल्यूशन स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी का मुख्य प्रदर्शन संकेतक है।
रिज़ॉल्यूशन घटना इलेक्ट्रॉन बीम के व्यास और मॉड्यूलेशन सिग्नल के प्रकार द्वारा निर्धारित किया जाता है सह-निर्धारण:
इलेक्ट्रॉन किरण का व्यास जितना छोटा होगा, रिज़ॉल्यूशन उतना अधिक होगा।
इमेजिंग के लिए उपयोग किए जाने वाले भौतिक सिग्नल रिज़ॉल्यूशन में भिन्न होते हैं।
उदाहरण के लिए, एसई और बीई इलेक्ट्रॉनों की नमूना सतह पर अलग-अलग उत्सर्जन सीमाएँ और रिज़ॉल्यूशन होते हैं। एसई का रेजोल्यूशन आम तौर पर {{0}एनएम के आसपास होता है, जबकि बीई का रेजोल्यूशन लगभग 50-200एनएम होता है।
3. क्षेत्र की गहराई
यह एक असमान नमूने के विभिन्न हिस्सों को एक साथ फोकस करने और छवि बनाने के लिए लेंस की क्षमता सीमा को संदर्भित करता है।
स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप का अंतिम लेंस एक छोटे कोणीय एपर्चर और एक लंबी फोकल लंबाई का उपयोग करता है, इसलिए क्षेत्र की एक बड़ी गहराई प्राप्त की जा सकती है। यह सामान्य ऑप्टिकल माइक्रोस्कोप के क्षेत्र की गहराई से 100-500 गुना बड़ा है और ट्रांसमिशन इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप के क्षेत्र की गहराई से 10 गुना बड़ा है।
एसईएम की प्रमुख विशेषताएं क्षेत्र की बड़ी गहराई, मजबूत त्रि-आयामी समझ और यथार्थवादी आकृति विज्ञान हैं।
इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी को स्कैन करने के लिए उपयोग किए जाने वाले नमूनों को दो श्रेणियों में विभाजित किया गया है:
1 अच्छी चालकता वाला एक नमूना है, जो आम तौर पर अपने मूल आकार को बनाए रख सकता है और इसे बिना या थोड़ी सी सफाई के इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप के नीचे देखा जा सकता है;
2 एक गैर-प्रवाहकीय नमूना है, या पानी की हानि, गैस रिलीज, या वैक्यूम में सिकुड़न विरूपण वाला एक नमूना है, जिसे अवलोकन करने से पहले ठीक से इलाज करने की आवश्यकता होती है।
