इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप के भागों का एक सेट
इलेक्ट्रॉन स्रोत: यह एक कैथोड है जो मुक्त इलेक्ट्रॉनों को छोड़ता है, और एक रिंग के आकार का एनोड इलेक्ट्रॉनों को गति देता है। कैथोड और एनोड के बीच वोल्टेज का अंतर बहुत अधिक होना चाहिए, आमतौर पर कई हजार वोल्ट और तीन मिलियन वोल्ट के बीच।
इलेक्ट्रॉन: इलेक्ट्रॉनों पर ध्यान केंद्रित करने के लिए उपयोग किया जाता है। आमतौर पर चुंबकीय लेंस का उपयोग किया जाता है, और कभी-कभी इलेक्ट्रोस्टैटिक लेंस का भी उपयोग किया जाता है। इलेक्ट्रॉन लेंस का कार्य ऑप्टिकल माइक्रोस्कोप में ऑप्टिकल लेंस के समान है। ऑप्टिकल लेंस का फोकस निश्चित होता है, लेकिन इलेक्ट्रॉनिक लेंस का फोकस समायोजित किया जा सकता है, इसलिए इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप में ऑप्टिकल माइक्रोस्कोप की तरह चल लेंस प्रणाली नहीं होती है।
वैक्यूम डिवाइस: वैक्यूम डिवाइस का उपयोग माइक्रोस्कोप के अंदर वैक्यूम स्थिति को सुनिश्चित करने के लिए किया जाता है, ताकि इलेक्ट्रॉन अपने पथ पर अवशोषित या विक्षेपित न हों।
नमूना धारक: नमूनों को नमूना धारक पर स्थिर रूप से रखा जा सकता है। इसके अलावा, अक्सर ऐसे उपकरण भी होते हैं जिनका उपयोग नमूना बदलने के लिए किया जा सकता है (जैसे कि हिलाना, घुमाना, गर्म करना, ठंडा करना, लम्बा करना आदि)।
डिटेक्टर: इलेक्ट्रॉनों को इकट्ठा करने के लिए इस्तेमाल किया जाने वाला सिग्नल या सेकेंडरी सिग्नल। किसी नमूने का प्रक्षेपण सीधे ट्रांसमिशन इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप (ट्रांसमिशन इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी टीईएम) का उपयोग करके प्राप्त किया जा सकता है। इस माइक्रोस्कोप में इलेक्ट्रॉन नमूने से होकर गुजरते हैं, इसलिए नमूना बहुत पतला होना चाहिए। नमूना बनाने वाले परमाणुओं का परमाणु भार, वोल्टेज जिस पर इलेक्ट्रॉन त्वरित होते हैं, और वांछित रिज़ॉल्यूशन नमूने की मोटाई निर्धारित करते हैं। नमूने की मोटाई कुछ नैनोमीटर से लेकर कुछ माइक्रोमीटर तक भिन्न हो सकती है। परमाणु द्रव्यमान जितना अधिक होगा और वोल्टेज जितना कम होगा, नमूना उतना ही पतला होगा।
उद्देश्य के लेंस सिस्टम को बदलकर, व्यक्ति सीधे उद्देश्य के केंद्र बिंदु पर छवि को बड़ा कर सकता है। इससे इलेक्ट्रॉन विवर्तन छवियाँ प्राप्त की जा सकती हैं। इस छवि का उपयोग करके, नमूने की क्रिस्टल संरचना का विश्लेषण किया जा सकता है।
एनर्जी फ़िल्टर्ड ट्रांसमिशन इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी (ईएफटीईएम) में, लोग एक नमूने से गुजरते समय इलेक्ट्रॉनों की गति में परिवर्तन को मापते हैं। इससे नमूने की रासायनिक संरचना का अनुमान लगाया जा सकता है, जैसे नमूने में रासायनिक तत्वों का वितरण।
